量程(N2)

0-10、30、50、100、300、500SCCM

0-1、3、5、10SLM(可定制0-5SCCM)

满量程可切换30~100%，如100SCCM可切换0-30SCCM

气体

非腐蚀气体

精度

±1.0%SP(>30%FS);0.3%FS(≤30%FS)

重复性

±0.25%FS

有效范围

2-100%

响应时间

1秒以内

耐压

1.0Mpa

进口最大压力

0.5Mpa

工作压差

0.05-0.3Mpa

泄漏率(HE)

1*10-8pa·m³/s以下
1*10-9pa·m³/s以下(VCR接口)

温度范围

5~50℃

精度保证温度

15~35℃

保存温度

-10~60℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SUS316L

密封圈VITON、NBR、PTFE

电气接口

DB9

通讯信号

RS485(Modbus-RTU)，RJ45接口

设定信号

0-5V或4-20mA可选

输出信号

0-5V或4-20mA可选

供电电压

+24VDC或±15VDC可选

消耗电路

300mA

尺寸

76*30*80MM

管路连接

标配1/4F9

选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

重量

约500g

1针脚/棕色

阀门全开/全闭

2针脚/白色

模拟输出

3针脚/红色

+24VDC

4针脚/黑色

电源COM

5针脚/黄色

空

6针脚/灰色

模拟输入

7针脚/绿色

输出COM

8针脚/兰色

输入COM

9针脚/紫色

空

1针脚

485COM

2针脚

485COM

3针脚

空

4针脚

485-

5针脚

485+

6针脚

空

7针脚

空

8针脚

空